하드 코팅을 위한 코팅 대상의 성능 요구 사항

하드 코팅용 코팅 타겟의 성능 요구 사항은 주로 스퍼터링 타겟의 열전도율, 전기 전도도 및 열팽창 계수에 대한 요구 사항입니다. 스퍼터링으로 인해 타겟의 온도가 상승하고 열전도율이 높을수록 열전달이 빨라 타겟 이온의 증발 효과가 좋아 증착 효율이 높아집니다. 열 스트레스의 영향을 줄이기 위해 타겟과 기판이 더 잘. Molybdenum Sputtering Target
요약하면, 하드 코팅용 코팅 타겟에 대한 기술 요구 사항에는 타겟 순도, 밀도, 구성 및 구조적 균일성 등이 포함되며 성능 요구 사항은 주로 스퍼터링 타겟의 열전도율, 전기 전도도 및 열팽창 계수에 대한 요구 사항입니다.