스퍼터링 타겟 유지 방법

1. 스퍼터링 타겟 유지보수
타겟 유지보수는 타겟의 스퍼터링 과정에서 스퍼터링 타겟의 불결한 캐비티로 인한 단락이나 아크를 방지할 수 있으므로 타겟 스퍼터링 트랙의 중간과 양쪽에 축적물을 단계적으로 제거해야 합니다. , 사용자가 높은 전력 밀도에서 지속적으로 스퍼터링하는 데 도움이 됩니다. Zirconium Sputtering Target
2. 스퍼터링 타겟 저장
스퍼터링 타겟의 보관을 위해 특히 스퍼터링 타겟의 경우 진공 포장에 보관하십시오. 특히 스퍼터링 타겟의 경우 스퍼터링 타겟의 접착 품질에 영향을 미치는 접합층의 산화를 피하기 위해 진공 상태에서 보관해야 합니다. 금속 스퍼터링 타겟을 보관할 때 깨끗한 비닐 봉지에 보관할 수 있지만 가능한 한 진공 포장합니다.
3. 스퍼터링 타겟 청소
먼저 보푸라기 없는 부드러운 천에 아세톤을 적셔 닦은 후 알코올로 닦는다.세척 후 탈이온수로 스퍼터링 타겟을 세척한다.세척 후 스퍼터링 타겟을 오븐에 넣고 100도에서 30분간 건조 세라믹 스퍼터링 타겟의 경우 보푸라기가 없는 천을 사용하여 청소하는 것을 권장합니다. 위의 모든 작업이 완료된 후 스퍼터링 타겟은 스퍼터링 시스템에서 아킹을 유발할 수 있는 불순한 입자를 제거하기 위해 고압 및 저습도의 아르곤 가스로 헹구어집니다. Tantalum Sputtering Target
4. 스퍼터링 타겟의 단락 및 조임 확인
스퍼터링 타겟을 설치한 후 음극 전체에 단락 및 조임 여부를 확인해야 하며 일반적으로 음극은 저항계를 사용하여 단락 여부를 확인합니다. 음극, 그런 다음 조임 상태를 확인하고 음극에 물을 통과시켜 누수 여부를 확인합니다.
5. 스퍼터링 타겟의 포장 및 운송
스퍼터링 타겟을 운송하는 동안 타겟을 방습제와 함께 진공 밀봉 백에 포장한 다음 나무 상자를 외부 포장으로 사용하고 타겟과 타겟을 보호하기 위해 주변에 충돌 방지 층을 설치하십시오. 백플레인, 운송 및 보관 중에 타겟과 백킹 플레이트가 손상되는 것을 방지합니다.